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SSB300型步进投影光刻机喜获第十五届工博会铜奖

    2013115,第十五届中国国际工业博览会在上海新国际博览中心开幕。本次展会,我司展示了扫描光刻机技术、纳米运动台及纳米级双频干涉测量技术、投影物镜等光刻机关键技术外,还带去了最新的面向LED PSS工艺的SSB300型步进投影光刻机。该设备在工博会上一亮相,就引起了与会专家和观众的关注,经过评选,该设备荣获了本届工博会铜奖。

          

          

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